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ULVAC愛發科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G
ULVAC愛發科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等。
燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規格和串行通信規格之外，還將增加EtherCAT規格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業真空設備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設備
水晶式成膜控制器
CRTM 系列
愛發科
優異的膜厚和成膜速率分辨率，在成膜速率低時也可以進行控制
125 ms的快速采樣率可以很好地控制
可實現樓層膜厚控制，最高達到99層
標準配有RS232C通信
最多可連接2個單傳感器（可切換）
配備最少數字輸入/輸出（各12ch）和模擬輸出（3ch）
蒸發時的膜厚及速率控制
| 膜厚/速率分辨率 | 0.041A（5兆赫） 0.029A（6兆赫） |
| 膜厚顯示范圍/顯示分辨率/td> | 0.000～99.99μm(0.000～999.9k?) |
| 沉積率顯示范圍/顯示分辨率 | 0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 ?/s) |
| 支持的傳感器頻率 | 5兆赫、6兆赫 |
| 可連接的傳感器數量 | 單傳感器：2個（不能同時測量，為開關型） 多傳感器：1個 |
| 采樣率 | 125毫秒 |
| 支持多層膜層數 | 99 層 |
| 沉積程序數量 | 99 |
| 數字輸入/輸出 | 輸入：12通道可編程 輸出：12通道可編程 |
| 模擬輸出 | 3通道可編程 |
| 外形尺寸 寬×深×高 | 240 毫米 x 350 毫米 x 99 毫米 |
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